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产品分类
Puro-R
Puro-R
Puro-R(PR)是FFU式化学过滤器，搭配自带风机过滤单元(FFU)，提供良好的气态分子过滤。Puro-R可以配合不同的滤材，去除酸、碱、有机物、硼、磷等，以达到控制气态分子污染物(AMC)目的。
产品特点
低初阻力、无递增压损
简易的装卸步骤
降低洁净室内的AMC浓度
发尘量少
产品参数
适用面风速：<1.0m/s
可针对不同类型的气态分子污染物(AMC)，
使用相应的滤材配方
产品应用
Puro-R系列产品是一款适用于FFU的化学过滤器。它提供优良的气态分子污染物(AMC)去除效率，为洁净的室内空气把关，进而帮助改善和提升产品的良品率。它可以搭配不同配方的化学过滤滤材，达到去除AMC(SEMI F21-1102的气态污染物分类)的效果。以下是Puro-R主要的应用领域：
半导体-前段制程(AMC控制)
半导体-后端封测等制程(腐蚀、污染与AMC控制)
压损图
规格表
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产品参数 |
PR-PCN |
PR-PAA |
PR-GAC |
PR-PHD |
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标准名义尺寸 (直径D，高H mm) |
620x400 |
620x400 |
620x400 |
620x400 |
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额定风量(CMH) |
0~2400 |
0~2400 |
0~2400 |
0~2400 |
|
阻力(Pa) |
<30@2400CMH |
<30@2400CMH |
<30@2400CMH |
<30@2400CMH |
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过滤器箱体材质 |
铝 |
铝 |
铝 |
铝 |
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目标气态分子污染物 |
酸性气态分子 (F- ,Cl- ,NOX,SOX,H2 S) |
碱性气态分子 (NH3) |
可凝性气态分子 (VOC) |
掺杂剂 (Boron,Phosphorus) |
*以上标准名义尺寸是指标准全尺寸Puro-V产品，半尺寸的Puro-V产品尺寸是287×592(W×H)。详情请咨询龙8销售工程师。
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